Location: Вступление > Прокачка через камеру

Прокачка через камеру

При прокачке через камеру азота или другого газа, содержащего азот, ионы испарившегося металла (молибдена, титана), взаимодей­ствуя с ионами азота, образуют нитриды, которые осаждаются на поверхности изделия, создавая тонкую пленку (2—12 мкм).

Изделие нагревается до температуры 300—600 "С. При наличии нескольких испарителей из различных металлов можно чередовать их работу, на­нося различные слои покрытия (многослойные покрытия) различной толщины. Известны различные комбинации покрытий: TiC + TiN ; TiC + TiN + А1 2 0з и др., у которых первые слои обеспечивают по­вышенное сцепление покрытия с поверхностью изделия, а наружные слои обладают высокой абразивной стойкостью.

Реактивное электронно-лучевое плазменное осаждение основано на том, что образующийся с помощью вакуумной дуги плазменный поток металла ориентируется в направлении изделия с последующей конденсацией на нем ионов и нейтральных атомов, которые одно­временно вступают в плазмохимическую реакцию с реактивным газом.

Твердые сплавы группы ВК с целью повышения прочности, удар­ной вязкости, твердости и износостойкости подвергают термической об­работке, заключающейся в закалке спеченных твердосплавных заго­товок или в отжиге их при температуре 600—1250 °С в течение не­скольких часов.